高性能除振・免震システム「SEMICON（セミコン）」

ミクロンレベルから大地震まで幅広い揺れを低減する免震床システム

近年、半導体工場や先端研究施設では、製造設備や検査装置の高性能化に伴い、振動許容値がますます厳しくなりつつあります。一方、設備配置計画上の自由度に対する要求から大スパン化による無柱空間が一般化しており、同時に、生産設備の増加に伴い建物の多層化が進んでいます。このため、建築構造体の水平固有振動数および床スラブの上下固有振動数が低下し、揺れやすい建築物となりかねない状況にあります。このような振動問題に建築構造で対応しようとすると過剰設計となり、大幅なコスト増加を招くおそれがあります。
そこで、本システムでは、振動を特に嫌う嫌振ゾーンを集約し、高性能な除振・免震床エリアを構築します。これにより、ミクロンレベルから大地震まで幅広い振動を除去する大規模な除振空間を、低コストで提供することが可能となります。
※SEMICON：Seismic & Micro Vibration Control System

特長・効果

１．電子顕微鏡や電子ビーム露光機などの除震・免震に対応

●精密機器類を交通振動や歩行振動といった外部の揺れから守ります。

２．さまざまな床サイズに対応

●3ｍ×3ｍ程度の除振台から大規模な二重床除振（数百㎡まで可）まで対応します。

３．ミクロンレベルから大地震までの水平・上下の除振・免震に対応

●水平動だけでなく上下動にも対応可能で、ミクロンレベルから大地震まで幅広く対応します。