クリーンルームの汚染制御技術　オフガス評価技術とデータベース

クリーンルーム用各種材料のオフガス試験データベース

半導体工場のクリーンルームでは、製品製造プロセスにおける歩留まり向上のために、極めて高度な清浄空間が必要です。
クリーンルームを建設する技術の中で、要求清浄度を満たすためには、ガス状汚染物質の放散が少ない材料の選定が重要な要素の一つとなります。
そこで、各種材料からの微量放散物質の試験評価技術を確立し、その技術に基づいて放散特性に関する多数のデータベースを蓄積してきています。

特長・効果

１．微量化学物質を確実に評価

●ナノグラムの微量成分を捕集して分析します。
●当社独自のチャンバー装置で試験効率が高いです。
●捕集した成分の分析には、GC-MSやICを活用します。

２．放散特性は経時変化を把握

●化学物質の放散量は経時変化が大きくなります。材齢との関係で変化傾向も把握しています。
●放散傾向は次のパターンに分類されます。
初期に低い→　急速に減衰（優）
〃　　　→　数ヵ月でも減衰しない（不良）
初期に高い→　急速に減衰（良）
〃　　　→　減衰が遅い（不良）

３．成分ごとの評価

●材料によっては50種類もの化学物質が検出されます。それらを個別に定性、定量し、汚染物質の特定も考慮して評価します。

４．シミュレーションへの活用性

●データは、高純度窒素ガスを通気したチャンバー法で、放散速度として整理し、汚染負荷計算への利用が可能です。