高剛性アルミ小型定盤「HiCAP」

精密機器用高剛性床を手軽に作れる600×600mmの床パネル

半導体製造ラインで微細加工を行うスキャンタイプの露光装置など、衝撃力を生じる精密機器や重量機器の設置に最適な600mm角の高剛性アルミ小型定盤です。 従来の重く大きいプレキャストコンクリート製に比べて「品質の高さ」と「取り扱いやすさ」が評価され、半導体工場をはじめ各種電子関連生産施設で数多く採用されています。 HiCAP（ハイキャップ）：High Stiffness Compact Aluminum Platform

特長・効果

１．高い剛性強度

●非常に厳しい設置環境が求められる半導体製造向け露光装置を安心して設置可能な、4×10⁸（N/m）の高い剛性を広い振動数領域で確保しています。

２．コンパクト

●一般的なフリーアクセス床と同じ600×600mmモジュールのため、床の割付けに合わせた納まりが可能です。
●材質にアルミ合金を採用し、従来のコンクリート製に比べ約35%の軽量化を実現しました。
●手軽に台車で搬入でき、狭い場所での設置が可能です。

３．据付け・加工が簡単

●フリーアクセス床と同様にパネルの四隅を柱で支える「ペデスタル支持脚」方式を採用しているため、据付作業が簡単です。
●設置に際して、下層階からの固定作業が不要です。
●装置固定用の穴あけ加工は据え付け後でも可能であり、急な穴位置変更にも対応できます。また、アルミ合金製なので、少ない発塵での加工が可能です。

４．高い施工品質

●当社オリジナルの標準施工要領書に沿ってクリーンルーム床専門業者が施工するため、高い品質を提供します。

５．さらに高い剛性と耐荷重に対応する高性能仕様も用意

●標準仕様の2倍の剛性を確保します。
●液浸露光装置など、近年の装置重量増加にも対応しています。

工事実績

エルピーダメモリ広島工場　E300ファブ　エリア2（旧：広島エルピーダメモリ　E300ラインPhaseⅡ）