高剛性アルミ小型定盤 「HiCAP」® （特許取得済み）
高い剛性を持ちながらコンパクトで据付簡単な床パネルです。
標準サイズはアクセスパネルと同じ600mm角で、クリーンルーム内での施工やレイアウト変更が容易です。
多数の半導体工場で導入実績があります。
- 高剛性
- フレキシビリティ
HiCAP外観
【標準サイズ】600x 600mm、H=200mm
【重量】 約 110㎏／枚
このような場合に有効です
- 高い剛性を求める露光装置などの設置床として
- 架台を増設したいが、搬入スペースが十分でない
- 装置の配置を頻繁に変更する
CFT柱
鋼管柱の中にコンクリートを充填しています。鉄骨とコンクリートの相乗効果で、耐火性能と剛性、粘り強さなどの優れた特性を発揮する上、経済性にも優れています。
柱本数を減らし、大スパンを実現することができます。
Vトラス構造
トラス上部を補機エリア、トラス下部を配管エリアとする、上下2層のメガトラス構造です。
空間を無駄なく利用することができます。
PCシステムグリッドビーム
工場生産されたコンクリート梁を使い、剛性の高い製造エリアを構築します。
